巴魯夫BALLUFF位移傳感器由機(jī)械結(jié)構(gòu)上可以看出，影響振子振動主要有兩個方面：一是片簧彎曲作用力對它的影響，但從計算?中可以知道，片簧產(chǎn)生的力比較小，從而使得片簧自振對振子振動影響很小；二是支撐彈簧的自振對它的影響，由于彈簧與振子是直接接觸的并且彈簧受到壓縮產(chǎn)生的彈力比較大，巴魯夫BALLUFF位移傳感器如果自振頻率高于需要測的振動頻率，那么就會影響振子振動的頻率_5_5。裝置中用來支撐振子平衡的六個彈簧對振子的振動是有影響的，巴魯夫BALLUFF位移傳感器當(dāng)然也會對測量結(jié)果?產(chǎn)生一定的誤差，這個影響主要是由于彈簧的自振對其影響比較大而造成的。

巴魯夫BALLUFF位移傳感器在機(jī)械結(jié)構(gòu)的空間設(shè)計上，三維互相對稱的結(jié)構(gòu)保證了三維測量的情況盡量接近l2 J。在設(shè)計中，主要考慮了以下幾個方面：一是振子 的平衡問題；二是振子的振動特性；三是如何能同時 測量三個方向上的振動情況而各個方向卻互不影響； 四是片簧以及彈簧對振子的影響。巴魯夫BALLUFF位移傳感器三組彈簧也就是每一維方向上兩個彈簧來支撐，前后 左右的四個彈簧無論長度與粗細(xì)都是一樣的，上下兩 個彈簧長度不同，但粗細(xì)也就是倔強(qiáng)系數(shù)是相同的。 這三組彈簧對振子起到支撐作用的主要是上下兩個彈 簧，前后左右四個是保持其振動的平衡性，巴魯夫BALLUFF位移傳感器還可以通 過調(diào)節(jié)螺栓1(每個方向上都有2個)來保證振子處于某個平衡的位置。

巴魯夫BALLUFF位移傳感器現(xiàn)在測量一維振動的傳 感器很多，采用的方式也很多，但是應(yīng)用在微振動和 低頻振動的卻比較少，而測量三維振動的傳感器就更 不多了。現(xiàn)有的測量三維瞬間振動和低頻振動的測振 儀，主要應(yīng)用在爆破測試方面，而測三維加速度的傳 感器，測量和記錄三個方面的沖擊振動，主要運用在公路運輸和貨物運輸?shù)确矫妗０汪敺駼ALLUFF位移傳感器這些三維測振傳感器主 要是壓電式，測高頻振動和瞬間沖擊的效果很好；因為半導(dǎo)體應(yīng)變片作為力敏器件的一種， 其自身具有靈敏度高、動態(tài)響應(yīng)快、測量精度高、穩(wěn) 定性好、功耗低、壽命長、抗干擾性強(qiáng)、可靠性高等優(yōu)點，巴魯夫BALLUFF位移傳感器能有效地測量微振動和低幅振動，而且體積比 較小，小于0．3m3，基本上實現(xiàn)了微型化，可以應(yīng)用 在一些需要測量三維振動的微工作臺和精密加工等方面。